000			00343nam a2200157Ia 4500
008			190201s9999 xx 000 0 und d
020			_a444875042
082			_a621
082			_b38152
100			_a"Nishizawa,J.ed."
245		0	_aSemiconductor Technologi
260			_aNew York
260			_bOHM
260			_c1984
300			_aVIII- 391
999			_c26072 _d26072